同轴光AOI自动光学检测仪专用分光镜详解
发布时间:
2025-12-01
补偿光灯板前的扩散板,扩散板均匀光线后入射到分光镜表面应进行磨 砂处理。预防灯板光穿对面再次返回再次照到镜片反射到物体再反回到镜头 的二次反射和透射效应。
同轴光 AOI 自动光学检测仪的专用分光镜,是实现高反光表面(如 PCB 焊盘、金属芯片、玻璃面板)高精度成像的核心光学元件,依托精密镀膜与光路设计,解决传统照明易反光、重影、缺陷不清晰的行业痛点,是 GIAI 激埃特光电针对 SMT、半导体检测场景定制的关键光学器件。其核心作用是将侧置光源光线转为垂直同轴照明,并精准分离物体反射光与杂散光,让相机仅捕捉有效成像信号,为 AOI 系统提供高对比度、无干扰的检测图像。
技术指标:
- S1面: 420nm~680nm T:R=50:50 (分光比误差10%)
- S2面: 420nm~680nm R<0.5%
- 表面光洁度:40-20(划伤-麻点)
- 面型:1/4入
核心工作原理(同轴光路闭环):
- (1)分光镜以 45° 倾角安装于 AOI 同轴光源内部,依托半透半反的光学特性,完成整套完整光路运行。
- (2)侧置 LED 光源发出 420~680nm 波段可见光,光线照射至分光镜后,约一半光线被反射向下,沿着镜头轴心垂直照射在被测物体表面,实现均匀稳定的同轴照明效果。
- (3)物体表面平整区域的光线会原路垂直反射回去,存在划痕、凹坑、杂物等瑕疵的位置则会形成漫反射,所有反射光线一同向上传回分光镜处。
- (4)回传光线中半数光束可直接透过分光镜进入成像相机,多余杂光与侧向反光被有效阻隔过滤,轻松形成高对比度清晰图像,有效改善高反光工件拍摄过曝、画面出现重影等常见问题。

核心技术:
- (1)补偿光灯板前的扩散板,扩散板均匀光线后入射到分光镜表面应进行磨砂处理。预防灯板光穿对面再次返回再次照到镜片反射到物体再反回到镜头 的二次反射和透射效应。
- (2)正对补偿灯板面要进行磨砂和喷涂哑光漆,一般有40%到50%的补偿光会照射到这个面上,使它产生直射光反射到镜片反射回镜头(若是未涂漆将有 14%的光线射回镜头会增加重影的明显度。
- (3)双面镀膜,一面镀分光面,一面镀增透膜面,并将增透膜面朝向镜头, 分光片朝向被测物体。
- (4)分光比,在环境光比被测物体亮度要亮时,在光源不变情况下,增加分光比(反射比透射等于60%比40%)这样可增加被测物体的亮度,来减少重影的明显度。这叫室暗原理,夜晚点灯屋内的人隔着玻璃看不见屋外的人,屋外的人却能很清晰的看清室内的人与物。
- (5)分光镜的玻璃厚度,随着玻璃厚度增加光程差的夹角变大,即二次折射点的距离间距加大,即我们说的重影明显现象。采用0.05mm的镜片重影最少 ,但太薄在工程安装过程存在很多问题,0.3mm,0.7mm,1.0mm,2.0mm是小面积尺寸中常用的厚度。
- (6)为了减少杂散光和环境光干扰,为了减少外界灰尘对分光片的污染,为了减少分光片Y方向与X方向光反射回来后产生的图象变形,增加一个双面镀高透的增透膜防尘镜可以使图像更加明亮。
- (7)增加成像明亮感的还有个特效是将镜片的材质有青板或浮法或K9玻璃改成用BK7,B270,D263T或康宁白板。会有明显的增亮感。这种效果在数码相机中特别明显。
- (8)为了不使图像产生变形,增加AOI自动光学检测仪识别效率,分光镜的镜片面型要小于1/4入,表面粗糙度越低越好。
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